Die chemische Gasphasenabscheidung von Siliciumnitrid - Modellentwicklung und Anwendung

	Autor: Andreas Puhl Verlag: Shaker Verlag Taschenbuch Auflage: Seiten: 198 ISBN-10: 3-8265-6081-7 ISBN-13: 978-3-8265-6081-1 ISBN: 3826560817 Preis: Preis und Verfügbarkeit anzeigen weitere Infos | Rezensionen | kaufen